环球晶圆股份有限公司王上棋获国家专利权
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龙图腾网获悉环球晶圆股份有限公司申请的专利晶圆检测方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115201106B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210042177.2，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权晶圆检测方法及其装置是由王上棋;陈苗霈;吴翰宗;蔡佳琪;李依晴设计研发完成，并于2022-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆检测方法及其装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆检测方法及晶圆检测装置。所述方法包括：接收至少一晶圆的扫描信息，其中所述扫描信息包括多个雾度值；根据单位区块分割所述扫描信息为多个信息区块，并且根据各所述多个信息区块包括的所述多个雾度值计算各所述多个信息区块的特征值；以及根据雾度上限值及雾度下限值将所述特征值转换为色彩值，并根据所述特征值所转换的色彩值产生对应所述至少一晶圆的色彩图，其中所述色彩图显示所述至少一晶圆的纹理内容。
本发明授权晶圆检测方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测方法，适用于包括处理器的电子装置，所述方法包括： 接收至少一晶圆的扫描信息，其中所述扫描信息被格式化为像素阵列，所述像素阵列包括多个像素以及分别对应至该些像素的多个雾度值； 根据单位区块将所述多个像素划分为多个信息区块，各所述多个信息区块包括多个所述像素； 根据各所述多个信息区块包括的所述多个雾度值计算各所述多个信息区块的特征值； 依据晶圆制程分析中的测试模式设定雾度上限值及雾度下限值，所述测试模式为同批次制程测试模式或多批次制程测试；以及 根据所述雾度上限值及所述雾度下限值将各所述多个信息区块的所述特征值转换为色彩值，并基于各所述多个信息区块的所述色彩值产生对应所述至少一晶圆的色彩图，其中所述色彩图显示所述至少一晶圆的纹理内容， 其中在所述测试模式为同批次制程测试模式或多批次制程测试模式时，根据预设上限值设定所述雾度上限值，并且根据预设下限值设定所述雾度下限值。
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