浜松光子学株式会社坂本刚志获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利检查装置及处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115244652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180019117.2，技术领域涉及：H10P54/30；该发明授权检查装置及处理系统是由坂本刚志;荻原孝文;佐野育设计研发完成，并于2021-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本检查装置及处理系统在说明书摘要公布了：检查装置具备：激光照射单元，其朝晶圆照射激光；显示器，其显示信息；及控制部，控制部执行：导出估计加工结果，该估计加工结果是包含依据所设定的配方加工条件通过激光照射单元对晶圆照射激光的情况时形成于晶圆的改质区域及从改质区域延伸的龟裂的信息；及控制显示器，考虑作为估计加工结果被导出的改质区域及龟裂的晶圆上的位置，显示将晶圆的影像图与该晶圆的改质区域及龟裂的影像图一同描绘的估计加工结果影像。
本发明授权检查装置及处理系统在权利要求书中公布了：1.一种检查装置，具备： 对晶圆照射激光的照射部； 显示部，其显示信息；及 控制部， 所述控制部被构成为执行： 导出估计加工结果，该估计加工结果是包含改质区域及从所述改质区域延伸的龟裂的信息，该改质区域在依据所设定的加工条件，通过所述照射部对所述晶圆照射所述激光的情况下，形成于所述晶圆； 基于所述估计加工结果生成估计加工结果影像；及 控制所述显示部，考虑作为所述估计加工结果被导出的所述改质区域及所述龟裂的所述晶圆上的位置，显示将所述晶圆的影像图与该晶圆的所述改质区域及所述龟裂的影像图一同描绘的所述估计加工结果影像。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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