北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司梁魁获国家专利权
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龙图腾网获悉北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司申请的专利压力传感器及其制作方法、显示设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115356017B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211058074.1,技术领域涉及:G01L1/14;该发明授权压力传感器及其制作方法、显示设备是由梁魁;王迎姿设计研发完成,并于2022-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力传感器及其制作方法、显示设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了一种压力传感器及其制作方法、显示设备。在本申请实施例提供的压力传感器中,通过设置具有第一通孔的应变结构,在压力传感器的制作过程中,便于通过未填充的第一通孔去除牺牲结构,使得应变结构与第一电极围合形成至少一个腔室,应变结构能够起到支撑第二电极的作用,能够提高第二电极的形成率以及保障第二电极的结构强度,从而能够降低压力传感器的制作难度。同时,压力传感器基于玻璃衬底制成,相较于硅基衬底而言,能够大大降低压力传感器的制作成本。
本发明授权压力传感器及其制作方法、显示设备在权利要求书中公布了:1.一种压力传感器,其特征在于,包括: 玻璃衬底; 第一电极,设置于所述玻璃衬底的一侧; 应变结构,设置于所述第一电极远离所述玻璃衬底的一侧,所述应变结构与所述第一电极围合形成至少一个腔室,所述应变结构具有第一通孔; 第二电极,设置于所述应变结构远离所述玻璃衬底的一侧; 所述应变结构包括相连的第一子部和第二子部; 所述第一子部设置于所述第一电极远离所述玻璃衬底的一侧,所述第一子部与所述第一电极围合形成所述腔室的第一子腔室;所述第二子部与所述第一电极围合形成所述腔室的第二子腔室; 所述应变结构与所述第一电极之间设置有第一保护层,部分所述第一子部直接与所述第一保护层连接,对所述第二子部进行支撑,在所述第二电极受到压力的情况下,所述第二子部首先发生形变,进而带动所述第一子部发生形变。
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