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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板反转方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115380371B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180023968.4，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板处理装置及基板反转方法是由高山祐一设计研发完成，并于2021-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本基板处理装置及基板反转方法在说明书摘要公布了：本发明关于一种基板处理装置1及基板搬送方法。基板处理装置1具备支撑部25、搬送机构23及反转机构26。搬送机构23具备第1吸引部42与手部驱动部45。反转机构26具备第2吸引部72与旋转驱动部。当搬送机构23将基板W搬送至支撑部25时，第1吸引部42位于基板W的上方，第1吸引部42使气体沿着基板W的上表面流动而将基板W朝上方吸引，且手部驱动部45使第1吸引部42移动至支撑部25。当反转机构26自支撑部25接收基板W时，第2吸引部72位于被支撑于支撑部25的基板W的上方，且第2吸引部72使气体沿着基板W的上表面流动而将基板W朝上方吸引。

本发明授权基板处理装置及基板反转方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其中，具备： 支撑部，与基板接触，并将基板以水平姿势支撑； 搬送机构，将基板搬送至所述支撑部；及 反转机构，自所述支撑部接收基板，使基板反转，并且，将基板交递至所述支撑部； 所述搬送机构具备： 第1吸引部，不与基板接触地吸引基板；及 搬送驱动部，使所述第1吸引部移动； 所述反转机构具备： 第2吸引部，不与基板接触地吸引基板；及 旋转驱动部，使所述第2吸引部绕水平的旋转轴线旋转； 当所述搬送机构将基板搬送至所述支撑部时，所述第1吸引部位于基板的上方，所述第1吸引部使气体沿着基板的上表面流动而将基板朝上方吸引，并且，所述搬送驱动部使所述第1吸引部移动至所述支撑部， 当所述反转机构自所述支撑部接收基板时，所述第2吸引部位于被支撑于所述支撑部的基板的上方，并且，所述第2吸引部使气体沿着基板的上表面流动而将基板朝上方吸引， 所述旋转驱动部通过使所述第2吸引部绕所述旋转轴线旋转，从而使所述第2吸引部移动至所述第2吸引部向下方吹出气体的第1位置与所述第2吸引部向上方吹出气体的第2位置， 当所述反转机构将基板交递至所述支撑部时，所述第2吸引部位于所述第2位置，且所述第2吸引部不吸引基板， 从所述反转机构将基板交递至所述支撑部之后至所述支撑部将基板交递至所述搬送机构为止，所述第2吸引部始终位于所述第2位置。

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