应用材料公司穆罕默德·M·拉希德获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于均匀性改善的加热器盖板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115461856B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180031808.4，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权用于均匀性改善的加热器盖板是由穆罕默德·M·拉希德;利克尔·杜鲁坎设计研发完成，并于2021-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于均匀性改善的加热器盖板在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式大体上关于一种用于当使用加热的基板支撑件时改善膜厚度基板的设备。公开了一种用以放置在加热的基板支撑件的顶表面上方的盖板。盖板包括形成在盖板中间用于放置基板的腔穴。盖板可包括各种特征，包括多个凹坑、多个径向设置的凹槽、多个环形凹槽、提升销孔、销槽和气体排出孔。
本发明授权用于均匀性改善的加热器盖板在权利要求书中公布了：1.一种用于基板处理的盖板，包含： 环形体，所述环形体进一步包含： 平面基板接收表面； 加热器界面表面，所述加热器界面表面平行于所述平面基板接收表面； 多个提升销孔，所述多个提升销孔穿过所述环形体而形成； 外部顶表面，所述外部顶表面设置在所述平面基板接收表面的径向外侧； 外表面，所述外表面从所述外部顶表面垂直延伸； 底表面，所述底表面从所述加热器界面表面径向向外设置； 内部悬垂表面，所述内部悬垂表面从所述底表面的所述外表面垂直向下延伸； 底部悬垂表面，所述底部悬垂表面设置在所述外表面和所述内部悬垂表面之间；及环形阶梯区域，所述环形阶梯区域在所述加热器界面表面和所述底表面之间，所述环形阶梯区域进一步包含： 第一环形阶梯，所述第一环形阶梯从所述加热器界面表面的外表面径向向外设置； 第二环形阶梯，所述第二环形阶梯从所述第一环形阶梯径向向外设置；及 中间表面，所述中间表面连接所述第一环形阶梯和所述第二环形阶梯。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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