浜松光子学株式会社嶋瀬朗获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利半导体检查方法及半导体检查装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115699281B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180041063.X,技术领域涉及:H10P74/00;该发明授权半导体检查方法及半导体检查装置是由嶋瀬朗;毛祥光;内角哲人设计研发完成,并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体检查方法及半导体检查装置在说明书摘要公布了:本发明的一实施方式的半导体检查方法包含以下步骤:通过对半导体器件扫描激光,对激光的每一照射位置,取得表示与激光的照射相应的半导体器件的电信号的特性的特性信息,基于每一照射位置的特性信息,产生半导体器件的第1图案图像;基于半导体器件的布局图像与表示半导体器件的电流路径的电流路径信息,产生半导体器件的第2图案图像;及基于第1图案图像与第2图案图像的位置对准的结果,取得表示第1图案图像与布局图像的相对关系的匹配信息。
本发明授权半导体检查方法及半导体检查装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体检查方法,其包括: 通过对半导体器件扫描光,对所述光的每一照射位置,取得表示与所述光的照射相应的所述半导体器件的电信号的特性的特性信息,基于所述每一照射位置的所述特性信息,产生所述半导体器件的第1图案图像; 基于表示所述半导体器件的布局的布局图像与表示所述半导体器件的电流路径的电流路径信息,产生所述半导体器件的第2图案图像的步骤;及 基于所述第1图案图像与所述第2图案图像的位置对准的结果,取得表示所述第1图案图像与所述布局图像的相对关系的匹配信息。
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