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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体设备及其基座调节机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115732381B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211471549.X，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权半导体设备及其基座调节机构是由张军设计研发完成，并于2022-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体设备及其基座调节机构在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体设备及其基座调节机构，属于半导体工艺技术。该半导体设备的基座调节机构包括机构座体、第一活动元件、第二活动元件、转接座体、第一方向调节组件、第二方向调节组件及锁紧组件，第一活动元件与机构座体的第二固定元件之间设置有限制第一活动元件只能相对第二固定元件进行第一方向移动的第一方向卡设结构；第二活动元件与第一活动元件之间设置有限制第二活动元件只能相对第一活动元件进行第二方向移动的第二方向卡设结构。本申请的基座调节机构，其可在对基座组件进行对中操作时，对基座组件分开进行相互垂直的第一方向和第二方向的调整，使得两个方向调整时互不影响，进而大大降低其调整难度。

本发明授权半导体设备及其基座调节机构在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备的基座调节机构，用于过渡连接在基座组件与基座提升装置之间，其特征在于，所述基座调节机构包括： 机构座体，包括相互垂直设置的第一固定元件和第二固定元件，所述第一固定元件与所述基座提升装置驱动连接； 第一活动元件，紧贴所述第二固定元件远离所述基座组件所在的一侧表面设置，且所述第一活动元件与所述第二固定元件之间设置有限制所述第一活动元件只能相对所述第二固定元件进行第一方向移动的第一方向卡设结构； 第二活动元件，紧贴所述第一活动元件远离所述第二固定元件所在的一侧表面设置，且所述第二活动元件与所述第一活动元件之间设置有限制所述第二活动元件只能相对所述第一活动元件进行第二方向移动的第二方向卡设结构，所述第二方向与所述第一方向相互垂直； 转接座体，所述转接座体的一端紧固连接有所述基座组件，所述转接座体的另一端依次穿过所述第二固定元件、所述第一活动元件以及所述第二活动元件设置，并与所述第二活动元件紧固连接；其中，所述第一活动元件的中部以及第二活动元件的中部均开设有相应的通孔，且所述通孔的直径均大于所述转接座体相应部分的直径，用于所述转接座体的另一端穿过，以留下所述转接座体沿所述第一方向及所述第二方向的调整余量； 第一方向调节组件，设置在所述第二活动元件与所述第二固定元件之间，以驱动所述第二活动元件及分别带动所述转接座体和所述第一活动元件一起相对所述第二固定元件进行第一方向移动； 第二方向调节组件，设置在所述第二活动元件与所述第二固定元件之间，以驱动所述第二活动元件及带动所述转接座体一起相对所述第一活动元件进行第二方向移动； 锁紧组件，设置在所述第二活动元件与所述第二固定元件之间，以在所述第一方向调节组件及所述第二方向调节组件调节完成后，将所述第二活动元件及所述第一活动元件锁紧在所述第二固定元件上。

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