苏州励索精密装备科技有限公司董大伟获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州励索精密装备科技有限公司申请的专利一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223827952U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423303690.6,技术领域涉及:G03F7/20;该实用新型一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置是由董大伟;金锋设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及超精密气浮运动平台技术领域,尤其涉及一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置。其包括底部定位板、设置在所述底部定位板上的安装框架,还包括分别设置在所述安装框架两端且能够前后驱动的距离板、驱动所述距离板前后移动的驱动模组、设置在所述驱动板的断面上下两侧的定位销,在所述安装框架上且置于距离板之间的若干组延长块。本实用新型的有益之处:本技术方案手轮调节确保电机与X梁的准确对齐,避免了手动操作的不确定性,减少了人为失误,提升了设备的可靠性和操作的安全性;通过塑料保护板的加入减少了电机与磁性组件间的意外吸附,降低了操作难度和安全风险,确保了电机在高磁环境中的安全安装。
本实用新型一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置在权利要求书中公布了:1.一种光刻机工件台的磁性气浮滑块的拆装装置,其包括底部定位板、设置在所述底部定位板上的安装框架,其特征在于:还包括分别设置在所述安装框架两端且能够前后驱动的距离板、驱动所述距离板前后移动的驱动模组、设置在所述距离板的断面上下两侧的定位销,在所述安装框架上且置于距离板之间的若干组延长块。
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