芯恩(青岛)集成电路有限公司张珂获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种半导体工艺装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223829778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520086813.0，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种半导体工艺装置是由张珂;徐妍;贾铭基设计研发完成，并于2025-01-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种半导体工艺装置，其中光学平整度检测结构得到机械臂的表面形貌信息；控制单元控制光学平整度检测结构的工作状态；分析判断单元接收并分析表面形貌信息，判断机械臂是否需要清洁，并通过判断结果控制机械臂的驱动结构和清洁结构。本实用新型设置光学平整度检测结构对得到机械臂的表面形貌信息，精确判断机械臂表面污染情况，提高机械臂抓取晶圆可靠性，同时避免机械臂表面污染对洁净晶圆产生交叉污染，减少机台宕机风险，提高产品良率；另外对机械臂表面污染的及时检测减少由于机台停机检修频率，提高生产效率；最后设置自主学习单元，提高机械臂表面清洁报警准确性，保证机械臂表面清洁并避免机械臂的无效清洁导致资源浪费。
本实用新型一种半导体工艺装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺装置，其特征在于，所述半导体工艺装置包括：光学平整度检测结构、控制单元和分析判断单元； 所述光学平整度检测结构用于光学检测以得到机械臂的表面形貌信息；所述控制单元与所述光学平整度检测结构电连接，用于对所述光学平整度检测结构的工作状态进行控制；所述分析判断单元与所述光学平整度检测结构电连接，用于接收并分析所述光学平整度检测结构的表面形貌信息，以判断被检测的机械臂是否需要清洁；所述分析判断单元与被检测的机械臂的驱动结构和清洁结构电连接，以通过所述分析判断单元得到的判断结果对机械臂的驱动结构和清洁结构进行控制。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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