盛合晶微半导体(江阴)有限公司杨长宝获国家专利权
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龙图腾网获悉盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利晶圆盒挂架及晶圆盒清洗系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223829792U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520182975.4,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型晶圆盒挂架及晶圆盒清洗系统是由杨长宝;刘鹏;俞磊;马超设计研发完成,并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆盒挂架及晶圆盒清洗系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆盒挂架和晶圆盒清洗系统:通过设计了具有长方体形状的第一收纳槽,本实用新型使得晶圆盒挂架可以收纳cassette型晶圆盒;通过增加第二收纳槽,本实用新型使得晶圆盒挂架可以收纳foup型晶圆盒;通过设计具有梯形体形状的第一收纳槽,本实用新型使得晶圆盒挂架可以收纳八角晶圆盒。因此,本实用新型通过不同的设计可以满足晶圆盒的收纳需求,并且具有结构简单、操作便捷的优点。
本实用新型晶圆盒挂架及晶圆盒清洗系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒挂架,其特征在于,所述晶圆盒挂架至少包括:外框架、收纳模块及档条模块; 所述外框架是由金属型材组成的长方体框架; 所述收纳模块设置在所述外框架内;所述收纳模块包括n个第一收纳槽,当n大于等于2时,n个第一收纳槽以层层堆叠的方式沿着所述外框架的高度方向设置;所述第一收纳槽收纳晶圆盒体,所述第一收纳槽为具有开口的立方体金属框架,所述第一收纳槽的开口位于所述外框架的侧面;其中,n为大于等于1的自然数; 所述档条模块包括n个档条组;所述档条组对应设置在所述第一收纳槽的开口处,包括m个平行设置的金属档条,m个金属档条滑动设置在所述外框架上;其中m为大于等于2的自然数。
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