长江存储科技有限责任公司胡俊获国家专利权
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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利晶圆处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113871325B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111140215.X，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权晶圆处理装置及方法是由胡俊;王建东设计研发完成，并于2021-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆处理装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆处理装置及方法。所述晶圆处理装置包括：液体槽，容纳由清洗液和干燥液构成的混合液，用于浸泡晶圆；干燥槽，具有腔室以及与所述腔室相连通的进气孔；所述腔室用于容纳浸泡后的所述晶圆；所述进气孔用于向所述腔室传输汽化干燥液，以对所述腔室中的所述晶圆进行干燥。本发明能够避免晶圆干燥过程中结构被破坏，提高晶圆的性能。
本发明授权晶圆处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括： 液体槽，容纳由清洗液和干燥液构成的混合液，用于浸泡晶圆，在所述液体槽的底部朝向顶部的方向上，所述混合液中的所述干燥液的浓度逐渐增大； 干燥槽，具有腔室以及与所述腔室相连通的进气孔，所述腔室用于容纳浸泡后的所述晶圆，所述进气孔用于向所述腔室传输汽化干燥液，以对所述腔室中的所述晶圆进行干燥； 第一进液孔，用于向所述液体槽传输所述清洗液； 至少一个第二进液孔，用于向所述液体槽传输所述干燥液； 所述第一进液孔和所述第二进液孔在所述液体槽的底部朝向顶部的方向上依次分布。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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