上海飞凯材料科技股份有限公司章韵获国家专利权
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龙图腾网获悉上海飞凯材料科技股份有限公司申请的专利一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114326300B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011065796.0，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法是由章韵;赵家祺设计研发完成，并于2020-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻胶技术领域，更具体地，本发明涉及一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法。本发明提供一种未曝光区膜厚损失小、垂直程度高的矩形形貌，还同时兼具高灵敏度、高对比度和高分辨率的正性抗蚀剂组合物；通过添加少量含有特定取代酚单体的改性酚醛清漆树脂B，和常规酚醛树脂A共同作用，得到的正型光刻胶组合物在高灵敏度的情况下仍可以明显改善光刻胶垂直形貌，使得光刻胶形貌从70°的正梯形，变为80°以上的矩形形貌，使得光刻胶能满足细线宽加工的需求，且发明人发现，加入全氟烷基丙烯酸酯E作为光刻胶添加物可以明显改善光刻胶的未曝光膜厚损失，显著提高了光刻胶的对比度。
本发明授权一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法在权利要求书中公布了：1.一种正型光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物的制备原料按重量百分数计，包括： 50～95wt%溶剂D； 5～50wt%固含组分； 所述固含组分按重量百分数计，包括： 30～90wt%重均分子量为3000～20000的酚醛清漆树脂A； 5～30wt%重均分子量为5000～25000的改性酚醛清漆树脂B； 4～40wt%含醌叠氮基的化合物C； 0.01～5wt%全氟烷基丙烯酸酯E； 所述全氟烷基丙烯酸酯E中全氟烷基的碳原子数大于等于5； 所述改性酚醛清漆树脂B由酚和醛缩合得到，所述酚包括对甲基苯酚、间甲基苯酚和取代苯酚，所述对甲基苯酚、间甲基苯酚和取代苯酚的摩尔比为27～61：37～102：1～21； 所述取代苯酚的结构式如式1所示： 1； R1选自苯基、CH3、CH2CH3或H，R2选自H、CH3、或CH2CH3，R3选自H、CH3、或CH2CH3。
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