厦门乾照光电股份有限公司林志园获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉厦门乾照光电股份有限公司申请的专利一种用于LED晶圆制程的装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114334756B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210057723.X，技术领域涉及：H10P72/10；该发明授权一种用于LED晶圆制程的装置是由林志园;洪金居;梁基麟;陈龙;陈乐;崔恒平;蔡玉梅;蔡海防设计研发完成，并于2022-01-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于LED晶圆制程的装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于LED晶圆制程的装置，包括载盘和压环，载盘侧面为倾斜面，载盘侧面与晶圆放置面形成载盘倾斜角，压环用于固定载盘，压环定位角用于定位载盘倾斜角，压片部用于压住载盘边缘。本发明设置压环定位角与载盘倾斜角的形状、角度相匹配，在适当增大载盘尺寸的同时，既避免载盘过大导致压环无法压住载盘的问题，使机台能正常工作，又能避免制程时传入到腔室内，载盘与压环产生摩擦过程中，载盘易偏离压环的固定，可有效保证载盘的寿命和晶圆加工良率，实现稳定规模化量产。
本发明授权一种用于LED晶圆制程的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于LED晶圆制程的装置，其特征在于，包括： 载盘1，所述载盘1上设有晶圆放置面，载盘侧面2为倾斜面，所述载盘侧面2与所述晶圆放置面形成载盘倾斜角θ1； 压环3，所述压环3包括压片部31、压环定位角θ2、环体32和定位环33； LED晶圆制程时，晶圆Y放置于所述晶圆放置面，所述压环3用于固定所述载盘1，所述压环定位角θ2用于定位所述载盘倾斜角θ1，所述压片部31用于压住载盘边缘4，其中，所述压环定位角θ2与所述载盘倾斜角θ1的形状、角度相匹配； 其中，晶圆放置槽9包括中心晶圆放置槽91和若干外围晶圆放置槽92；所述中心晶圆放置槽91和所述外围晶圆放置槽92之间的凸起部为Y区10，所述外围晶圆放置槽92与所述载盘侧面2之间的凸起部为Z区11；中心晶圆放置槽底面水平高度为H1，Y区水平高度为H2，Z区水平高度为H3，晶圆高度为H4，则H1＜H2≤H1+H4，且H2＜H3。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人厦门乾照光电股份有限公司，其通讯地址为：361101 福建省厦门市厦门火炬高新区(翔安)产业区翔天路259-269号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励