西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司刘忠任获国家专利权
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龙图腾网获悉西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种目标工艺任务停止方法和一种半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114420587B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111583741.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种目标工艺任务停止方法和一种半导体工艺设备是由刘忠任设计研发完成，并于2021-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种目标工艺任务停止方法和一种半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种目标工艺任务停止方法和一种半导体工艺设备，所述方法包括：在执行工艺任务的过程中，响应于针对目标工艺任务的停止指令，确定所述目标工艺任务中需停止动作的第一目标晶圆；根据所述第一目标晶圆的当前传输位置和当前工艺状态，确定是否调整所述第一目标晶圆原来的第一传输路径，若是，则根据新确定的所述第一传输路径，生成新的调度动作序列，按照新生成的所述调度动作序列将所述第一目标晶圆传输至源站点；若否，则按照原来的所述第一传输路径进行工艺并将所述第一目标晶圆传输至对应的目的站点。根据本发明实施例，只需操作人员一个按键操作，即可以将与所选择的工艺任务关联的晶圆回收至目的站点或源站点。
本发明授权一种目标工艺任务停止方法和一种半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种目标工艺任务停止方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述方法包括： 在执行工艺任务的过程中，响应于针对目标工艺任务的停止指令，确定所述目标工艺任务中需停止动作的第一目标晶圆；所述停止指令是需要对正在执行的其中一个或者多个工艺任务进行工艺性能调试时生成的，提供只对单独的其中一个或者几个工艺任务中的晶圆进行回收的一键收片功能； 根据所述第一目标晶圆的当前传输位置和当前工艺状态，确定是否调整所述第一目标晶圆原来的第一传输路径； 若是，则根据新确定的所述第一传输路径，生成新的调度动作序列，按照新生成的所述调度动作序列将所述第一目标晶圆传输至源站点； 若否，则按照原来的所述第一传输路径进行工艺并将所述第一目标晶圆传输至对应的目的站点。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：710000 陕西省西安市高新区锦业一路11号国家服务外包示范基地D座4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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