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龙图腾网获悉长江存储科技有限责任公司申请的专利调整晶圆翘曲度的方法及其装置、系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114664683B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210195801.2，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权调整晶圆翘曲度的方法及其装置、系统是由赵婷婷;徐前兵;李思晢;高晶设计研发完成，并于2022-03-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本调整晶圆翘曲度的方法及其装置、系统在说明书摘要公布了：本公开提供了一种调整晶圆翘曲度的方法及其装置、系统，涉及半导体芯片技术领域，用于实现对晶圆的翘曲程度的调整。上述调整晶圆翘曲度的方法包括：提供数据库；数据库包括至少一个对应关系，对应关系为晶圆的翘曲度变化量与工艺条件之间的对应关系；获取待调整的晶圆的翘曲度；根据所获取的翘曲度及对应的目标翘曲度，确定晶圆的翘曲度变化量；根据所确定的翘曲度变化量，确定调整晶圆的翘曲度要利用的对应关系；根据所确定的对应关系，确定与晶圆的翘曲度变化量对应的工艺条件；根据所确定的工艺条件对晶圆进行处理，调整晶圆的翘曲度，以使调整后的晶圆的翘曲度满足目标翘曲度。上述调整晶圆翘曲度的方法应用于三维存储器中。

本发明授权调整晶圆翘曲度的方法及其装置、系统在权利要求书中公布了：1.一种调整晶圆翘曲度的方法，其特征在于，所述调整晶圆翘曲的方法包括： 提供数据库；所述数据库包括至少一个对应关系，所述对应关系为晶圆的翘曲度变化量与工艺条件之间的对应关系； 获取待调整的晶圆的翘曲度； 根据所获取的翘曲度及对应的目标翘曲度，确定所述晶圆的翘曲度变化量； 根据所确定的翘曲度变化量，确定调整所述晶圆的翘曲度要利用的对应关系； 根据所确定的对应关系，确定与所述晶圆的翘曲度变化量对应的工艺条件； 根据所确定的工艺条件对所述晶圆进行处理，调整所述晶圆的翘曲度，以使调整后的晶圆的翘曲度满足目标翘曲度； 其中，所述数据库包括至少两种调整方式，所述对应关系的数量为多个，至少两个所述对应关系基于同一种调整方式； 所述根据所确定的翘曲度变化量，确定调整所述晶圆的翘曲度要利用的对应关系，包括： 根据所确定的翘曲度变化量，确定调整方式； 从多个所述对应关系中，确定基于所述调整方式的至少一个对应关系； 根据所确定的翘曲度变化量，从所确定的至少一个对应关系中，确定调整所述晶圆的翘曲度要利用的对应关系。

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