江苏科瑞恩自动化科技有限公司段徽庆获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏科瑞恩自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆环取料贴装装置及晶圆环取料贴装方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114678303B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210339695.0,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种晶圆环取料贴装装置及晶圆环取料贴装方法是由段徽庆;韩鹏;周永斌;曹乃桃设计研发完成,并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆环取料贴装装置及晶圆环取料贴装方法在说明书摘要公布了:本发明提出了一种晶圆环取料贴装装置及晶圆环取料贴装方法,包括:物料储存组件、前段取料机构、后段取料机构、贴装组件。本方案的技术效果在于,物料储存组件可以堆叠多个晶圆环,并可以方便逐一取出晶圆环,利于实现自动化和提升上料的效率。本发明通过设置前段取料机构将物料储存组件中的晶圆环取出,并进行一次转运到中转取料工位,再通过后段取料机构来对前段取料机构上的晶圆环进行二次转运,其解决的技术问题是:现有技术中的取料机构很难直接将物料储存组件中的晶圆环运送至贴装工位上,本方案采用设置两个取料机构的方式有效地解决了这一技术问题,本方案具有转运效率高,适配性强的优点。采用机械转运的方式有效提高了转运精度,从而使得晶圆环的位置更加准确,进而能够提高对晶圆环的贴装精度。
本发明授权一种晶圆环取料贴装装置及晶圆环取料贴装方法在权利要求书中公布了:1.一种晶圆环取料贴装装置,其特征在于,包括: 上料料仓,用于放置晶圆环21; 前段取料机构36,用于将取料工位的所述上料料仓中的晶圆环21取出并移载到中转取料工位; 后段取料机构37,用于将中转取料工位上所述前段取料机构36转载的晶圆环21转运至贴装工位; 贴装组件35,所述贴装组件35具有一个贴装工作部,所述贴装工作部用于对转运至贴装工位上的晶圆环21进行贴装作业; 所述晶圆环取料贴装装置还包括上料料仓、设于上料料仓中的上料小流线、取料工位、下料工位、下料料仓、设于下料料仓中的下料小流线、两端与上料小流线和下料小流线分别对接的中转流线; 此时,上料料仓中堆满晶圆环的弹匣通过设于上料料仓中的上料小流线移动到取料工位并定位,同时,上料工位的空弹匣通过上料小流线和中转流线流转到下料工位并定位,同时下料工位装满空环的弹匣则通过下料小流线转移到下料料仓,以便集中转运处理; 还包括用于后段取料机构37将完成贴装的晶圆环21进行转运的中转下料工位和第二前段取料机构361,所述第二前段取料机构361包括: 第三驱动机构,所述第三驱动机构具有第二旋转驱动部和第二Y轴直线运动驱动部,所述第二旋转驱动部与所述第二Y轴直线运动驱动部传动连接,所述第二Y轴直线运动驱动部带动第二旋转驱动部沿Y轴方向往复运动; 第三取料手,安装在第二旋转驱动部上,第二旋转驱动部带动第三取料手绕旋转驱动部的转轴旋转,所述第三取料手用于对完成贴装的晶圆环21在中转下料工位和下料工位之间转运; 所述前段取料机构36包括: 第一驱动机构,所述第一驱动机构具有旋转驱动部38和Y轴直线运动驱动部39,所述旋转驱动部38与所述Y轴直线运动驱动部39传动连接,所述Y轴直线运动驱动部39带动旋转驱动部38沿Y轴方向往复运动; 第一取料手40,安装在旋转驱动部38上,旋转驱动部38带动第一取料手绕旋转驱动部38的转轴旋转,所述第一取料手40用于对晶圆环21进行取放; 所述后段取料机构37包括: 第二驱动机构,所述第二驱动机构具有X轴模组41、Y轴模组42和Z轴模组43;X轴模组41、Y轴模组42和Z轴模组43用于带动第二取料手在X轴、Y轴和Z轴上运动; 第二取料手,用于将晶圆环21在中转取料工位和贴装工位之间移载。
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