东京毅力科创株式会社筒井努获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利基板处理方法和基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114830297B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080085904.2，技术领域涉及：H10P76/00；该发明授权基板处理方法和基板处理系统是由筒井努设计研发完成，并于2020-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法和基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理方法和基板处理系统，用于对基板进行处理。所述基板处理方法包括以下工序：工序A，将通过供给涂布液而在表面形成有涂布膜的所述基板进行加热；工序B，在所述工序A之后，一边使所述基板旋转，一边使去除液的喷出目的地以从该基板的表面的周端位置起去向该基板的中心侧并在第一位置处折返且再次返回该周端位置的方式移动；工序C，在所述工序B之后，一边使所述基板旋转，一边使所述去除液的喷出目的地以从该基板的表面的周端位置起去向该基板的中心侧并在比所述第一位置更靠外侧的第二位置处折返且再次返回该周端位置的方式移动；以及工序D，在所述工序C之后，再次将所述基板进行加热。
本发明授权基板处理方法和基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，用于对基板进行处理，所述基板处理方法包括以下工序： 工序A，将通过供给涂布液而在表面形成有涂布膜的所述基板进行加热； 工序B，在所述工序A之后，一边使所述基板旋转，一边使去除液的喷出目的地在从所述基板的表面的与周端位置不同的第一位置起至该周端位置为止的范围内移动； 工序C，在所述工序B之后，一边使所述基板旋转，一边使所述去除液的喷出目的地在从比所述第一位置更靠外侧的第二位置起至所述基板的表面的周端位置为止的范围内移动； 工序D，在所述工序C后，再次将所述基板进行加热；以及 工序E，在所述工序B之后且所述工序C之前，在停止向所述基板的表面供给去除液的状态下，使所述基板以比所述工序B及所述工序C中的转速高的转速旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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