株式会社斯库林集团东克荣获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理装置及基板处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115020272B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111646596.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理装置及基板处理方法是由东克荣;田村零央;竹本宪司;长尾大树设计研发完成，并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及基板处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具备基板保持部、喷嘴8、第一供给管114、第一开闭部111、第一流量调节部112、第二供给管124和流量控制部200。第二供给管向喷嘴供给处理液。流量控制部对第一开闭部及第一流量调节部进行控制。流量控制部在第一期间内，在打开第一供给管的状态下对第一流量调节部的开度进行反馈控制，将第一流量调节部的开度决定为第一开度。流量控制部在第二期间内，在将第一流量调节部的开度设为第一开度的状态下，不对第一流量调节部的开度进行反馈控制地开闭第一供给管。第一期间是第二期间之前的期间。
本发明授权基板处理装置及基板处理方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 基板保持部，其保持基板； 喷嘴，其向所述基板喷出处理液； 第一供给管，其向所述喷嘴供给所述处理液； 第一开闭部，其开闭所述第一供给管； 第一流量调节部，其对在所述第一供给管中流通的所述处理液的流量进行调节； 第二供给管，其向所述喷嘴供给所述处理液；和 流量控制部，其对所述第一开闭部及所述第一流量调节部进行控制， 所述流量控制部在第一期间内，在打开所述第一供给管的状态下对所述第一流量调节部的开度进行反馈控制，将所述第一流量调节部的开度决定为第一开度， 所述流量控制部在第二期间内，在将所述第一流量调节部的开度设为所述第一开度的状态下，不对所述第一流量调节部的开度进行反馈控制地开闭所述第一供给管， 所述第一期间是所述第二期间之前的期间。
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