上海哥瑞利软件股份有限公司叶宇晖获国家专利权
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龙图腾网获悉上海哥瑞利软件股份有限公司申请的专利一种全自动的半导体晶圆制造执行系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115020280B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210583613.7,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权一种全自动的半导体晶圆制造执行系统是由叶宇晖设计研发完成,并于2022-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种全自动的半导体晶圆制造执行系统在说明书摘要公布了:本发明提供一种全自动的半导体晶圆制造执行系统,非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式;非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令,并且在接收到非生产批次的待机指令时,发出相应的非生产批次的待机指令;设备模块进入相应的非生产批次的待机状态;此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令;非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令,并且在接收到非生产批次的派工指令时,向设备模块发出相应的执行指令。其优点在于建立非生产批次的模式和各种状态,派工系统等外部系统可以透过查询直接判断当前系统是否派NPW批次还是生产批次到该设备,优化全自动效率;OEE分析可以直接透过设备状态分析。
本发明授权一种全自动的半导体晶圆制造执行系统在权利要求书中公布了:1.一种全自动的半导体晶圆制造执行系统,其特征在于:包括,非生产批次NPW模块、批次性生产模块和设备模块; 其中,非生产批次NPW模块内储存各种非生产批次模式;非生产批次NPW模块可接收所有非生产批次的待机指令,并且在接收到非生产批次的待机指令时,发出相应的非生产批次的待机指令;设备模块进入相应的非生产批次的待机状态;此时设备模块只接受相应的非生产批次的派工指令; 非生产批次NPW模块还可接收所有非生产批次的派工指令,并且在接收到非生产批次的派工指令时,向设备模块发出相应的执行指令; 批次性生产模块接收批次性生产指令,并在接收批次性生产指令时,向设备模块发出批次性生产的执行指令; 设备模块在接收到相应的非生产批次的执行指令后,设备模块进入相应的非生产批次的生产模式状态;当设备模块接收到批次的派工生产指令后,进入相应的批次性的生产模式状态。
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