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龙图腾网获悉山东联盛电子设备有限公司申请的专利硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115026050B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210594867.9，技术领域涉及：B08B3/08；该发明授权硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统是由马玉水设计研发完成，并于2022-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统在说明书摘要公布了：本发明公开了硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统，硅片清洗液混合装置包括顶部敞开的清洗液混合盒，清洗液混合盒的底板上从左向右依次安装有第一溢流组件、垂直于清洗液混合盒的底板的溢流阻挡板、隔板，隔板的上端活动安装有溢流斜倾板；硅片清洗液循环系统包括硅片清洗液混合装置、硅片清洗机、清洗液补充箱、混酸室、控制装置，硅片清洗液混合装置安装在混酸室内，混酸室顶部设有抽风机，抽风机与设置在混酸室外的酸雾处理装置相连。本发明通过在线补充新酸液并通过溢流混合、降温，可实现清洗液循环利用并保证清洗质量，且装置具有方便清理的特点。

本发明授权硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统在权利要求书中公布了：1.一种硅片清洗液混合装置，其特征在于，包括顶部敞开的清洗液混合盒1，清洗液混合盒的底板11上从左向右依次安装有第一溢流组件2、垂直于清洗液混合盒的底板11的溢流阻挡板3、隔板4，隔板4的上端活动安装有溢流斜倾板5； 第一溢流组件2、溢流阻挡板3、隔板4、溢流斜倾板5的前侧面均与清洗液混合盒的前侧壁12的后侧面接触，第一溢流组件2、溢流阻挡板3、隔板4、溢流斜倾板5的后侧面均与清洗液混合盒的后侧壁13的前侧面接触；第一溢流组件2的左侧面、第一溢流组件2的右侧面、溢流阻挡板3、隔板4、溢流斜倾板5均垂直于清洗液混合盒的后侧壁13； 清洗液混合盒的前侧壁12分别与清洗液混合盒的右侧壁14、清洗液混合盒的左侧壁15螺钉连接，或者，清洗液混合盒的后侧壁13分别与清洗液混合盒的右侧壁14、清洗液混合盒的左侧壁15螺钉连接； 第一溢流组件2的顶面高于溢流阻挡板3的顶面；清洗液混合盒的后侧壁13、清洗液混合盒的前侧壁12、清洗液混合盒的底板11、第一溢流组件2的右侧面、溢流阻挡板3之间形成第一清洗液流动空间61； 溢流阻挡板3的顶面高于溢流斜倾板5的顶面；清洗液混合盒的后侧壁13、清洗液混合盒的前侧壁12、清洗液混合盒的底板11、溢流阻挡板3、隔板4、溢流斜倾板5形成第二清洗液流动空间62； 清洗液混合盒的后侧壁13、清洗液混合盒的前侧壁12、清洗液混合盒的底板11、隔板4、溢流斜倾板5、清洗液混合盒的右侧壁14形成第三清洗液流动空间63； 溢流斜倾板5的远离溢流阻挡板3侧设有滤网板51；滤网板51分别与清洗液混合盒的右侧壁14、清洗液混合盒的前侧壁12、清洗液混合盒的后侧壁13相接触； 溢流斜倾板5的顶端与溢流阻挡板3顶端之间的间距大于溢流斜倾板5的底端与溢流阻挡板3底端之间的间距； 清洗液混合盒的底板11上的隔板4与清洗液混合盒1的右侧面之间设有若干主出液孔71； 第一溢流组件2前侧面或后侧面的顶端设有进液孔21，第一溢流组件2右侧面的底端设有若干第一溢流孔22； 溢流阻挡板3上设有若干第二溢流孔31，位于最上方的第二溢流孔31的顶端高于溢流斜倾板5的顶端； 溢流斜倾板5与隔板4活动连接； 清洗液混合盒的底板11上的隔板4与溢流阻挡板3之间设有若干辅助出液孔72。

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