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株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社山田雅基获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社申请的专利隔离器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115224007B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210048378.3,技术领域涉及:H10W44/00;该发明授权隔离器是由山田雅基设计研发完成,并于2022-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

隔离器在说明书摘要公布了:本发明实施方式的隔离器具备第一导体、第二导体和第一~第三绝缘膜。上述第一绝缘膜设置于上述第一导体与上述第二导体之间,包含硅、氧和氮。上述第二绝缘膜设置于上述第一导体与上述第一绝缘膜之间,包含硅和氧,进一步包含比上述第一绝缘膜的上述氮的组成比小的组成比的氮、或不含氮。上述第一绝缘膜在从上述第一导体朝向上述第二导体的第一方向上,具有上述第二导体与上述第二绝缘膜之间的第一膜厚,上述第二绝缘膜具有比上述第一膜厚薄的上述第一方向的第二膜厚。上述第三绝缘膜设置于上述第一导体与上述第二绝缘膜之间,具有比上述第一膜厚薄的上述第一方向的第三膜厚,具有与上述第一绝缘膜的组成及上述第二绝缘膜的组成不同的组成。

本发明授权隔离器在权利要求书中公布了:1.一种隔离器,其具备: 第一导体; 第二导体,其与所述第一导体相向; 第一绝缘膜,其设置于所述第一导体与所述第二导体之间,包含硅、氧和氮; 第二绝缘膜,其设置于所述第一导体与所述第一绝缘膜之间,包含硅和氧,进一步包含比所述第一绝缘膜的所述氮的组成比小的组成比的氮、或不含氮,在从所述第一导体朝向所述第二导体的第一方向上,所述第一绝缘膜具有第一膜厚,所述第二绝缘膜按照具有比所述第一膜厚薄的所述第一方向的第二膜厚的方式设置; 第三绝缘膜,其设置于所述第一导体与所述第二绝缘膜之间,具有比所述第一膜厚薄的所述第一方向的第三膜厚,具有与所述第一绝缘膜的组成及所述第二绝缘膜的组成不同的组成, 第六绝缘膜,其将所述第二导体覆盖,所述第二导体设置于所述第一绝缘膜与所述第六绝缘膜之间; 第一中间绝缘膜,其设置于第一绝缘膜与所述第六绝缘膜之间,包含与所述第一绝缘膜不同的材料;以及 第二中间绝缘膜,其设置于所述第一中间绝缘膜与所述第六绝缘膜之间,包含与所述第一中间绝缘膜不同的材料; 所述第二导体设置于所述第一及第二中间绝缘膜中, 所述第一导体与所述第二导体之间的距离比所述第一导体与所述第一中间绝缘膜之间的距离短, 所述第二导体的下端位于比所述第一绝缘膜与所述第一中间绝缘膜的边界靠下的水平。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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