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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利液体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115440622B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210634416.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权液体处理设备是由金芝镐;金钟翰;李住东;李周桓;李贤俊设计研发完成，并于2022-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本液体处理设备在说明书摘要公布了：本发明构思提供一种液体处理设备。液体处理设备包含：旋转卡盘，配置为支承及旋转基板；及液体供应单元，配置为向基板供应液体，且其中液体供应单元包含：喷嘴，配置为将液体排出至基板；流路管，配置为连接喷嘴及液体供应单元；阀组合件，设置在流路管处，且配置为截止及回吸流路管内的液体的流，其中，阀组合件包括：截止阀，配置为打开及关闭流路管内的处理液体的流；及回吸阀，设置成与截止阀的一端相邻，且配置为回吸喷嘴的液体，其中，液体处理设备进一步包括：调整引入或流出截止阀的空气的流速的第一流速控制器和调整引入或流出回吸阀的空气的流速的第二流速控制器，且其中第二流速控制器将液体的回吸移动速度控制在10毫米秒或更低。

本发明授权液体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种液体处理设备，所述液体处理设备包括： 旋转卡盘，所述旋转卡盘配置为支承及旋转基板；及 液体供应单元，所述液体供应单元配置为向所述基板供应液体， 其中所述液体供应单元包括： 喷嘴，所述喷嘴配置为将所述液体排出至所述基板； 流路管，所述流路管配置为连接所述喷嘴及所述液体供应单元； 阀组合件，所述阀组合件设置在所述流路管处，且配置为截止及回吸所述流路管内的所述液体的流， 其中，所述阀组合件包括： 截止阀，所述截止阀配置为打开及关闭所述流路管内的处理液体的流；及 回吸阀，所述回吸阀设置成与所述截止阀的一端相邻，且配置为回吸所述喷嘴的所述液体， 其中，所述液体处理设备进一步包括： 第一流速控制器，所述第一流速控制器配置为调整引入或流出所述截止阀的空气的流速；及 第二流速控制器，所述第二流速控制器配置为调整引入或流出所述回吸阀的空气的流速，且 其中所述第二流速控制器将所述液体的回吸移动速度控制在10毫米秒或更低， 所述液体处理设备进一步包括用于将施加至所述回吸阀的气压调整至第一压力或更低的空气调节器，且 其中，作为施加至所述回吸阀的气压的所述第一压力与施加至所述截止阀的第二压力不同， 其中，所述第一压力低于所述第二压力。

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