FEI 公司J·斯托卡获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497794B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210325297.3，技术领域涉及：H01J37/28；该发明授权在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法是由J·斯托卡;B·塞达设计研发完成，并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法在说明书摘要公布了：在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法。本发明公开了一种用于校正像散和线性畸变两者的实例多束扫描电子显微镜MB‑SEM，其至少包括：经耦接以提供电子束的电子源；包含孔阵列的孔板，所述孔板经布置以从所述电子束形成电子小束阵列；和包括多个透镜以及第一消像散器和第二消像散器的电子柱，所述电子柱经耦接以将所述电子小束阵列导向样本，其中所述第一消像散器和所述第二消像散器经布置和激励以校正像散和线性畸变两者。
本发明授权在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法在权利要求书中公布了：1.一种设备，其包含： 电子源，所述电子源经耦接以提供电子束； 孔板，所述孔板包含孔阵列，所述孔板经布置以从所述电子束形成电子小束阵列； 电子柱，所述电子柱包括多个透镜以及第一消像散器和第二消像散器，所述电子柱经耦接以将所述电子小束阵列导向样本，其中所述第一消像散器和所述第二消像散器经布置和激励以校正像散和线性畸变两者，其中第一消像散器布置在聚光透镜的平面中，并且第二消像散器布置在物镜和处于所述物镜和聚光透镜之间的透镜之间的中间，并且其中所述电子柱由于多个透镜而形成： 至少一个个别束交叉平面，其中所述电子束中的每个电子束形成所述电子源的中间图像，所述至少一个个别束交叉平面出现在物镜和聚光透镜之间的透镜的平面中，以及 至少一个单一公共束交叉平面，其中阵列中的电子束彼此交叉，所述至少一个单一束交叉平面出现在聚光透镜的平面中。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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