EV 集团 E·索尔纳有限责任公司T·普拉赫获国家专利权
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龙图腾网获悉EV 集团 E·索尔纳有限责任公司申请的专利基底保持器以及用于固定和键合基底的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115605987B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080101439.7,技术领域涉及:H10P72/78;该发明授权基底保持器以及用于固定和键合基底的方法是由T·普拉赫设计研发完成,并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基底保持器以及用于固定和键合基底的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于接纳基底13的基底保持器1,1',1'',1''',1'''',1''''以及相应的方法,所述基底保持器具有用于固定基底13的固定元件6,6',6'',其中,固定元件6,6',6''可分组到区域7,7'中。
本发明授权基底保持器以及用于固定和键合基底的方法在权利要求书中公布了:1.一种用于接纳基底13的基底保持器1,1',1”,1”',1””,1””',其具有用于固定所述基底13的固定元件6,6',6”,其中,所述固定元件6,6',6”可分组到区域7,7'中,其中,所述区域7,7'圆环形地布置,其中,多个区域仅存在于所述基底保持器的周边,其中,所述多个区域在方位角上彼此分开,其中,所述固定元件6,6',6”是凹部并且引脚9定位于所有固定元件6,6',6”中,其中,能够改变所述区域7,7'的形状、布置结构和操控以便改善所述基底13的键合效果,其中,所述固定元件6,6',6”能够单独切换,并且借助这种切换能够受控地控制或调节接触面之间的前进的键合波,其中,通过所述固定元件6,6',6”和所述区域7,7',能够如此补偿所述基底13的在键合之前和或在键合期间存在的机械的不对称性,使得所述键合波具有径向对称的形状。
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