应用材料以色列公司埃拉德·科恩获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利利用计算高效分割方法的缺陷检测获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116364569B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211688390.7,技术领域涉及:H10P74/20;该发明授权利用计算高效分割方法的缺陷检测是由埃拉德·科恩;维克托·埃戈罗夫;宜兰·本哈拉什;拉斐尔·比斯特里策设计研发完成,并于2022-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本利用计算高效分割方法的缺陷检测在说明书摘要公布了:提供一种半导体样品的检查系统,该系统包括处理器和存储器电路,被构造成用以对于该样品的图像中的多个候选缺陷中的每个给定候选缺陷,获得该图像中给定候选缺陷的给定区域,获得参考图像,对该参考图像的至少一部分进行分割,以针对每个给定候选缺陷确定该参考图像中与对应于该给定区域的给定参考区域相匹配的第一参考区域,在第一参考区域中选择多个第二参考区域,获得该图像中的多个对应的第二区域,并且使用提供该第二区域的像素强度信息的数据和提供该给定区域的像素强度信息的数据来确定该给定候选缺陷是否对应于一个缺陷。
本发明授权利用计算高效分割方法的缺陷检测在权利要求书中公布了:1.一种半导体样品的检查系统,所述系统包括处理器和存储器电路PMC,被构造成用以: ---对于由检查工具获取的所述半导体样品的图像中的多个候选缺陷中的每个给定候选缺陷,获得所述图像中所述给定候选缺陷的给定区域; ---获得参考图像; ---对所述参考图像的至少一部分进行分割,所述分割包括:对于每个给定候选缺陷: o根据对应性准则,获得所述参考图像中与所述图像中的所述给定候选缺陷的所述给定区域对应的给定参考区域;以及 o根据第一相似性准则,确定所述参考图像中的第一参考区域,其中对于每个给定第一参考区域,提供所述给定第一参考区域的像素强度信息的第一数据匹配提供所述给定参考区域的像素强度信息的第一数据;以及 ---对于每个给定候选缺陷: o对于每个给定第一参考区域,将提供所述给定第一参考区域的像素强度信息的第二数据与提供所述给定参考区域的像素强度信息的第二数据进行比较; o在所述第一参考区域中选择多个第二参考区域,其中所述比较指示根据第二相似性准则,在所述多个第二参考区域的像素强度与所述给定参考区域的像素强度之间存在足够的相似性水平; o根据所述对应性准则,获得所述图像中的多个第二区域,其中每个给定第二区域对应于所述第二参考区域中的一个第二参考区域;以及 o使用提供所述第二区域的像素强度信息的数据和提供所述给定区域的像素强度信息的数据来确定所述给定候选缺陷是否对应于一个缺陷。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列雷霍沃特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励