新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种光罩对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842307U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520516007.2，技术领域涉及：G03F1/42；该实用新型一种光罩对准装置是由张琪;符友银;张曼妮设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光罩对准装置在说明书摘要公布了：本申请提供一种光罩对准装置，涉及光刻机技术领域，包括支撑台、光罩对准组件和调节杆，光罩对准组件包括设置于支撑台的固定镜架、移动镜架以及图像接收器，图像接收器用于接收来自光罩的光线，固定镜架和图像接收器位于光线形成的光路中。在固定镜架上开设有第一通孔，在移动镜架上开设有第二通孔和第三通孔。调节杆可拆卸的穿设在第一通孔与第二通孔中或者第一通孔与第三通孔中以使第二通孔和第三通孔可替换的位于光路中，当调节杆被拆卸后，第一通孔、第二通孔和第三通孔内安装有用于调制光线的镜头组件。通过调节杆的设计可以保证光线调制的高精度，避免平台位移过程中可能出现的误差，从而大幅提升光刻机系统的性能与稳定性。
本实用新型一种光罩对准装置在权利要求书中公布了：1.一种光罩对准装置，其特征在于，包括支撑台1、光罩对准组件2和调节杆3，所述光罩对准组件2包括设置于所述支撑台1的固定镜架21、移动镜架22以及图像接收器23，所述图像接收器23用于接收来自光罩的光线，所述固定镜架21和所述图像接收器23位于所述光线形成的光路中； 在所述固定镜架21上开设有第一通孔，在所述移动镜架22上开设有第二通孔和第三通孔； 所述调节杆3可拆卸的穿设在所述第一通孔与所述第二通孔中或者所述第一通孔与所述第三通孔中以使所述第二通孔和所述第三通孔可替换的位于所述光路中，当所述调节杆3被拆卸后，所述第一通孔、所述第二通孔和所述第三通孔内安装有用于调制所述光线的镜头组件。
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