上海新毅东半导体科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新毅东半导体科技有限公司申请的专利一种夹取装置及光刻机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842311U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520509374.X，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种夹取装置及光刻机是由张琪;符友银;芦志明设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种夹取装置及光刻机在说明书摘要公布了：本实用新型属于微电子技术领域，尤其涉及一种夹取装置及光刻机。夹取装置的支撑座上相对设置有两个夹取组件，两个夹取组件滑动设置于支撑座且能够配合夹取工件，支撑座安装的驱动机构包括驱动件、凸轮和随动组件，驱动件与凸轮传动连接，凸轮表面设置有螺纹槽，随动组件一端与螺纹槽可移动地配合，另一端连接于夹取组件。通过凸轮的转动转化为夹取组件的移动，使夹取组件的移动过程较为平缓和流畅，不容易产生卡顿，而且夹取组件移动过程线性，难以对工件产生冲击，从而提升了夹取组件夹取工件时的稳定性。本实用新型提出的一种光刻机，通过设置夹取装置，其夹取组件移动时难以出现卡顿和冲击现象，提升了夹取组件夹取工件的稳定性。
本实用新型一种夹取装置及光刻机在权利要求书中公布了：1.一种夹取装置，包括支撑座1，所述支撑座1上相对设置有两个夹取组件2，两个所述夹取组件2滑动设置于所述支撑座1且能够配合夹取工件，其特征在于，所述支撑座1上还安装有两个驱动机构3，所述驱动机构3与所述夹取组件2一一对应设置，所述驱动机构3包括驱动件31、凸轮32和随动组件33，所述驱动件31与所述凸轮32传动连接，所述凸轮32表面设置有螺纹槽，所述随动组件33一端与螺纹槽可移动地配合，另一端连接于所述夹取组件2，所述凸轮32转动能带动所述随动组件33平移，以使两组所述夹取组件2相互靠近或远离。
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