昂图创新有限公司J·C·达纳赫获国家专利权
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龙图腾网获悉昂图创新有限公司申请的专利带有快速对准的光刻机和用于光刻机的对准系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842312U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202390000390.5，技术领域涉及：G03F9/00；该实用新型带有快速对准的光刻机和用于光刻机的对准系统是由J·C·达纳赫设计研发完成，并于2023-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本带有快速对准的光刻机和用于光刻机的对准系统在说明书摘要公布了：本文公开了一种带有快速对准的光刻机和用于光刻机的对准系统的示例。该机器可包括：平台，该平台用于保持和移动衬底；和投影系统，该投影系统用于将图像投影在该衬底的多个暴露区域上。该机器还可包括对准系统，该对准系统定位成与该投影系统相邻。该对准系统可包括带有固定焦点的多个显微镜相机，每个显微镜相机被配置为检测该衬底的相应暴露区域中的相应基准，其中，所述多个显微镜相机中的至少一个显微镜相机具有等于或小于0.15的数值孔径。
本实用新型带有快速对准的光刻机和用于光刻机的对准系统在权利要求书中公布了：1.一种带有快速对准的光刻机，其特征在于，所述光刻机包括： 平台，所述平台用于保持和移动衬底； 投影系统，所述投影系统用于将图像投影在所述衬底的多个暴露区域上；和 对准系统，所述对准系统定位成与所述投影系统相邻，所述对准系统包括带有固定焦点的多个显微镜相机，每个显微镜相机被配置为检测所述衬底的相应暴露区域中的相应基准， 其中，所述多个显微镜相机中的至少一个显微镜相机具有等于或小于0.15的数值孔径。
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