新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利一种掩膜版预对准装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223842313U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520515557.2,技术领域涉及:G03F9/00;该实用新型一种掩膜版预对准装置是由张琪;符友银;刘林设计研发完成,并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版预对准装置在说明书摘要公布了:一种掩膜版预对准装置,涉及掩膜版转运技术领域。该装置包括底板组件、旋转补偿机构和预对准机构;底板组件包括旋转连接的安装底板和连接底板;旋转补偿机构包括设置在连接底板上的转动调节件,转动调节件的一端能够与安装底板的侧壁相抵接;预对准机构包括预对准部,预对准部包括两个第一夹持件和两个第二夹持件,两个第一夹持件用于沿第一方向相互靠近或远离;两个第二夹持件用于沿第二方向相互靠近或远离,第一方向与第二方向垂直相交;基准位面设置于两个第一夹持件与两个第二夹持件围设区域内;掩膜版转运至第一夹持件与第二夹持件围设区域内,第一夹持件、第二夹持件受驱移动并推动掩膜版与基准位面重合,从而提高了掩膜版的预对准可靠性。
本实用新型一种掩膜版预对准装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版预对准装置,其特征在于,包括底板组件110、旋转补偿机构和预对准机构130;所述底板组件110包括安装底板111和连接底板112,所述安装底板111可旋转地连接于所述连接底板112的上表面;所述旋转补偿机构包括设置在所述连接底板112上的转动调节件,所述转动调节件的一端能够与所述安装底板111的侧壁相抵接,以带动所述安装底板111相对于所述连接底板112旋转;所述预对准机构130包括预对准部,所述预对准部包括两个第一夹持件131和两个第二夹持件132,两个所述第一夹持件131用于沿第一方向a相互靠近或远离;两个所述第二夹持件132用于沿第二方向b相互靠近或远离,所述第一方向a与所述第二方向b垂直相交;基准位面133设置于两个所述第一夹持件131与两个所述第二夹持件132围设区域内;掩膜版转运至所述第一夹持件131与所述第二夹持件132围设区域内,所述第一夹持件131、第二夹持件132受驱移动并推动所述掩膜版与所述基准位面133重合。
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