江苏鲁汶仪器股份有限公司刘星楠获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种多离子源处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223842872U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423268786.3，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种多离子源处理设备是由刘星楠;石小丽;裘晓强;庄仕伟;陶铮;许开东设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多离子源处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种多离子源处理设备，涉及半导体加工设备技术领域，多离子源处理设备包括：工艺腔室；载台，设置在工艺腔室的底部，载台具有用于放置待处理工件的承载面；载台能够沿垂直于承载面中心的第一轴线转动，还能够沿平行于承载面的第二轴线转动；第一离子源，可移动的安装在工艺腔室的顶部，能够出射第一离子束，第一离子束的照射区域覆盖承载面的局部区域；第二离子源，第二离子源安装在工艺腔室的顶部，能够出射第二离子束，第二离子束的照射区域至少覆盖承载面。本申请技术方案可以通过第一离子源出射的第一离子束和第二离子源出射的第二离子束对待处理工件进行表面加工，相对于采用单一离子源的离子源处理设备，提高了工艺灵活性。
本实用新型一种多离子源处理设备在权利要求书中公布了：1.一种多离子源处理设备，其特征在于，包括： 工艺腔室； 载台，设置在所述工艺腔室的底部，所述载台具有用于放置待处理工件的承载面；所述载台能够沿垂直于承载面中心的第一轴线转动，还能够沿平行于所述承载面的第二轴线转动； 第一离子源，所述第一离子源可移动的安装在所述工艺腔室的顶部，能够出射第一离子束，所述第一离子束的照射区域覆盖所述承载面的局部区域； 第二离子源，所述第二离子源安装在所述工艺腔室的顶部，能够出射第二离子束，所述第二离子束的照射区域至少覆盖所述承载面。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏鲁汶仪器股份有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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