合肥皓宇芯光科技有限公司马丁获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥皓宇芯光科技有限公司申请的专利一种电离台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223843340U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520151138.5,技术领域涉及:H01T23/00;该实用新型一种电离台是由马丁;薛健健;陈凯旋;李成平;崔绍龙;杨皓设计研发完成,并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电离台在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种电离台,电离台本体,电离台本体侧面设置有材料强度高于电离台本体的接触层,接触层与滚珠接触,用于承担滚珠施加的压力,电离台本体开设腰孔,接触层为一块状结构,并嵌入至腰孔内,接触层与腰孔粘接,接触层开设有凹槽,凹槽呈外扩状。本实用新型中,对电离台本体进行调节时,转动螺杆的手柄,螺杆端部的滚珠推动接触层,接触层与电离台本体共同移动至预设位置,此时接触层将电离台本体与滚珠隔离,使滚珠无法对电离台本体进行直接接触,但仍然可以驱动电离台本体进行移动,从而有效降低电离台本体的变形程度,强度更高的接触层也不易变形,使得螺杆的调节也不容易失效,进而保持较高的调节精度。
本实用新型一种电离台在权利要求书中公布了:1.一种电离台,适用于极紫外光发生器,所述极紫外光发生器上设置有螺杆4,所述螺杆4端部设置滚珠,其特征在于,包括:电离台本体1,所述电离台本体1侧面设置有材料强度高于所述电离台本体1的接触层3,所述接触层3与所述滚珠接触,用于承担所述滚珠施加的压力。
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