矽品精密工业股份有限公司黄士澄获国家专利权
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龙图腾网获悉矽品精密工业股份有限公司申请的专利蚀刻设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223844225U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520137635.X,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型蚀刻设备是由黄士澄;林志隆;沈承逸;许智昇;陈正辉设计研发完成,并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本蚀刻设备在说明书摘要公布了:一种蚀刻设备,主要利用连接蚀刻机台及换气装置的感测装置,以于特定时间内感测到预定数量的待蚀刻件进入该蚀刻机台时,自动启动该换气装置,亦或于特定时间内感测到已无待蚀刻件进入该蚀刻机台时,自动关闭该换气装置,以维持蚀刻机台内蚀刻药水浓度。
本实用新型蚀刻设备在权利要求书中公布了:1.一种蚀刻设备,其特征在于,包括: 蚀刻机台; 换气装置,实体连接该蚀刻机台,以对该蚀刻机台内的空气进行换气作业;以及 感测装置,讯号连接该换气装置,以于特定时间内对进入该蚀刻机台的待蚀刻件进行数量统计,据以作动该换气装置。
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