重庆芯联微电子有限公司陈彦铨获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利液体喷溅侦测装置及清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844227U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520169202.2，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型液体喷溅侦测装置及清洗设备是由陈彦铨;陈颖儒设计研发完成，并于2025-01-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本液体喷溅侦测装置及清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种液体喷溅侦测装置及清洗设备，液体喷溅侦测装置包括：侦测单元以及信号放大器；侦测单元设置于工艺腔室的侧壁上，并与工艺盘的高度相适配；侦测单元与信号放大器连通；其中，侦测单元包括导线层和覆盖层，覆盖层上设置有多个通孔，导线层于通孔处露出，液体喷溅至通孔中，并与导线层接触，以实现内锁回路的导通。如此配置，将侦测单元设置在工艺腔室的侧壁上，使得侦测单元能够在液体发生喷溅初期即可侦测到，提升了侦测单元的灵敏度；且覆盖层上设置有多个通孔，增加了喷溅的液体的附着与聚拢的能力；除此之外，侦测单元通过信号放大器与内锁回路连通，在液体发生喷溅时，生成报警信号，以提示操作人员，避免产品良率损失。
本实用新型液体喷溅侦测装置及清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种液体喷溅侦测装置，其特征在于，包括：侦测单元以及信号放大器； 所述侦测单元设置于工艺腔室的侧壁上，并与工艺盘的高度相适配； 所述侦测单元与所述信号放大器连通，所述信号放大器用于与机台的内锁回路连通，以在所述侦测单元侦测到液体喷溅时，导通所述内锁回路，生成报警信号； 其中，所述侦测单元包括导线层和覆盖层，所述覆盖层覆盖所述导线层，所述覆盖层上设置有多个通孔，所述导线层于所述通孔处露出，以使得当液体喷溅至所述通孔中并与所述导线层接触时，实现所述内锁回路的导通。
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