天津中科晶禾电子科技有限责任公司王莎获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利晶圆定位工装获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423099465.5，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型晶圆定位工装是由王莎;高智伟;母凤文;谭向虎;刘福超设计研发完成，并于2024-12-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆定位工装在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆定位工装，包括：本体，具有一承载面，所述承载面用于承载晶圆；限位组件，设于所述本体，其包括相对于所述承载面可伸缩的限位销；所述限位组件至少为两个；侧推组件，设于所述本体，可选择性的施加朝向所述限位组件的侧推力；所述侧推组件与至少两个所述限位组件的连线呈三角形。通过至少两个限位组件与侧推组件配合，从多方向固定晶圆，防止位移，承载面气道还能产生吸附力辅助固定，侧推组件与限位组件均通过弹性件配置有弹性，遇外力时会收缩，避免与晶圆的硬性接触，可降低晶圆受损的概率。侧推组件与限位组件采用PEEK材质耐腐蚀和磨损，不会因摩擦产生杂质，降低晶圆受污染的概率。
本实用新型晶圆定位工装在权利要求书中公布了：1.晶圆定位工装，其特征在于，包括：本体，所述本体具有一承载面，所述承载面用于承载晶圆； 限位组件，设于所述本体，其包括相对于所述承载面可伸缩的限位销； 所述限位组件至少为两个； 侧推组件，设于所述本体，可选择性的施加朝向所述限位组件的侧推力； 所述侧推组件与至少两个所述限位组件的连线呈三角形。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区滨海高新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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