安徽光智科技有限公司胡明辉获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利一种晶圆夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844261U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423229612.6，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种晶圆夹具是由胡明辉;陆波设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆夹具在说明书摘要公布了：本实用新型公开了涉及一种晶圆夹具，用于晶圆加工技术领域。本装置包括：晶圆夹具本体，晶圆夹具本体设有用于容纳平放状态晶圆的第一容纳槽和多个用于容纳竖放状态晶圆的第二容纳槽；第一容纳槽设于晶圆夹具本体的上表面，第一容纳槽与晶圆的正面或背面形状匹配，第一容纳槽与晶圆抵接时，至少有部分晶圆的底面与第一容纳槽的内底面之间留有空隙；多个第二容纳槽开设于第一容纳槽的内底面，第二容纳槽与晶圆的圆周侧面形状匹配。本装置可以实现晶圆的平放和竖放，有效提高了工作效率，且晶圆与晶圆夹具本体的接触面积小，避免划伤或腐蚀不均匀的情况，提高了晶圆良率。
本实用新型一种晶圆夹具在权利要求书中公布了：1.一种晶圆夹具，其特征在于，包括晶圆夹具本体，所述晶圆夹具本体设有用于容纳平放状态晶圆的第一容纳槽和多个用于容纳竖放状态晶圆的第二容纳槽； 所述第一容纳槽设于所述晶圆夹具本体的上表面，所述第一容纳槽与晶圆的正面或背面形状匹配，所述第一容纳槽与所述晶圆抵接时，至少有部分所述晶圆的底面与所述第一容纳槽的内底面之间留有空隙； 多个所述第二容纳槽开设于所述第一容纳槽的内底面，所述第二容纳槽与所述晶圆的圆周侧面形状匹配。
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