江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利一种半导体基板处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223844262U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423266194.8,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型一种半导体基板处理装置是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体基板处理装置在说明书摘要公布了:本申请涉及一种半导体基板处理装置,包括花篮、清洁组件、升降翻转组件、推送组件;花篮具有相对设置的第一开口和第二开口,花篮能够使得半导体基板呈直立状态浸入在润湿槽中,在半导体基板呈直立状态浸入在润湿槽中时,第一开口朝上;升降翻转组件能够带动花篮提升翻转至使得半导体基板处于推送位置,在半导体基板处于推送位置时,半导体基板呈水平状态,第一开口面向所述清洁组件;推送组件用于在半导体基板处于推送位置时,从第二开口将半导体基板直线推送至清洁组件进行清洁;通过设置升降翻转组件和推送组件,降低了成本,并且通过对转移操作的优化,缩短了半导体基板的转移时间,从而提高生产效率。
本实用新型一种半导体基板处理装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体基板处理装置,其特征在于,包括: 花篮1,用于放置半导体基板6;所述花篮1具有相对设置的第一开口11和第二开口;所述花篮1能够使得所述半导体基板6呈直立状态浸入在润湿槽中,其中,在所述半导体基板6呈直立状态浸入在所述润湿槽中时,所述第一开口11朝上; 清洁组件5,用于清洁所述半导体基板6; 升降翻转组件,与所述花篮1相连接,所述升降翻转组件能够带动所述花篮1提升翻转至使得所述半导体基板6处于推送位置,其中,在所述半导体基板6处于所述推送位置时,所述半导体基板6呈水平状态,所述第一开口11面向所述清洁组件5; 推送组件4,用于在所述半导体基板6处于所述推送位置时,从所述第二开口将所述半导体基板6直线推送至所述清洁组件5进行清洁。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏芯梦半导体设备有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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