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龙图腾网获悉青岛思锐智能科技股份有限公司申请的专利无油润滑的抽拉式支撑装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223844269U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520348033.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型无油润滑的抽拉式支撑装置是由高富来;国政;刘连瑞;袁建辉;李岩彬设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本无油润滑的抽拉式支撑装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体工艺技术领域，公开了一种无油润滑的抽拉式支撑装置，包括上托盘、下托盘和第一滑块，上下托盘均呈U型，上托盘包括载物板以及载物板两侧的第一立板，下托盘包括支撑板以及支撑板两侧的第二立板，上托盘处于下托盘的U形空间内，下托盘的两个第二立板上均开设有沿第二立板长度方向的第一滑道，第二立板的上边沿开设有缺口，缺口设置在第一滑道的一端且与第一滑道连通，两个第一立板上均固定有第一滑块，第一滑块经缺口滑入第一滑道内，第一滑块沿第一滑道滑动以带动上托盘相对下托盘滑动，上托盘包括处于下托盘上方的第一状态以及抽拉出下托盘的第二状态。本实用新型未引入润滑油以及其他影响洁净间洁净环境的颗粒或元素。

本实用新型无油润滑的抽拉式支撑装置在权利要求书中公布了：1.一种无油润滑的抽拉式支撑装置，其特征在于，包括上托盘1、下托盘2和第一滑块13， 所述上托盘1和所述下托盘2均呈U型，所述上托盘1包括中间的载物板11以及所述载物板11两侧的第一立板12，所述下托盘2包括中间的支撑板21以及所述支撑板21两侧的第二立板22，所述上托盘1处于所述下托盘2的U形空间内， 所述下托盘2的两个所述第二立板22上均开设有沿所述第二立板22长度方向的第一滑道221，所述第二立板22的上边沿开设有缺口222，所述缺口222设置在所述第一滑道221的一端且向下延伸至与所述第一滑道221连通， 所述上托盘1的两个所述第一立板12上均固定有所述第一滑块13，所述第一滑块13经所述缺口222滑入所述第一滑道221内，所述第一滑块13沿所述第一滑道221滑动以带动所述上托盘1相对所述下托盘2滑动，所述上托盘1包括处于所述下托盘2上方的第一状态以及抽拉出所述下托盘2的第二状态。

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