浙江创芯集成电路有限公司方文长获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利半导体处理设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223859623U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520309619.4,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型半导体处理设备是由方文长设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种半导体处理设备,包括:支架;以及多个顶针组件,多个所述顶针组件围绕所述支架的中心轴间隔分布;其中,所述顶针组件包括:支撑座,与所述支架固定;顶针,位于所述支撑座的上方;压力传感器,位于所述顶针和所述支撑座之间且与所述顶针和所述支撑座固定连接。半导体处理设备在工作时能降低对晶圆的损伤。
本实用新型半导体处理设备在权利要求书中公布了:1.一种半导体处理设备,其特征在于,包括: 支架;以及 多个顶针组件,多个所述顶针组件围绕所述支架的中心轴间隔分布; 其中,所述顶针组件包括: 支撑座,与所述支架固定; 顶针,位于所述支撑座的上方; 压力传感器,位于所述顶针和所述支撑座之间且与所述顶针和所述支撑座固定连接。
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