浙江创芯集成电路有限公司靳忆帆获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆制造设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223859627U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520428051.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型晶圆制造设备是由靳忆帆;杨波;梁志;颜继飞;张严设计研发完成,并于2025-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆制造设备在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种晶圆制造设备,包括:晶圆存放设备,内部设置有存放晶圆的晶圆舱室;盖板,设置于所述晶圆存放设备表面,覆盖所述晶圆舱室,所述盖板表面设置有发射控制设备;限位块,在所述晶圆舱室的侧边以及所述盖板的侧边相对应位置处设置,以使所述盖板在所述晶圆存放设备上的覆盖位置固定。本申请实施例所提供的晶圆制造设备可以避免在晶圆制造设备运行中盖板以及所述发射控制设备的位置出现偏移,确保晶圆在传送过程中的安全性和准确性。同时可以省去繁琐的校准过程提交晶圆制造设备的工作效率。
本实用新型晶圆制造设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆制造设备,其特征在于,包括: 晶圆存放设备,内部设置有存放晶圆的晶圆舱室; 盖板,设置于所述晶圆存放设备表面,覆盖所述晶圆舱室,所述盖板表面设置有发射控制设备; 限位块,在所述晶圆舱室的侧边以及所述盖板的侧边相对应位置处设置,以使所述盖板在所述晶圆存放设备上的覆盖位置固定。
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