国芯半导体(仪征)有限公司卫国获国家专利权
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龙图腾网获悉国芯半导体(仪征)有限公司申请的专利一种半导体硅外延片真空夹持装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223859649U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-01-30发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520167130.8,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型一种半导体硅外延片真空夹持装置是由卫国;李金龙设计研发完成,并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅外延片真空夹持装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种半导体硅外延片真空夹持装置,包括安装板,所述安装板的外表面安装有夹持加工组件,所述夹持加工组件包括滑筒,所述滑筒固定连接于安装板的外表面,所述滑筒外表面滑动连接有滑杆,所述滑杆的左端固定连接有滑板,所述滑板的外表面开设有卡槽。该半导体硅外延片真空夹持装置,通过安装板以及夹持加工组件的配合,夹持加工组件不仅能够实现对半导体硅外延片的夹持,而且还能够对夹持后的半导体硅外延片进行转动,进而方便后续对半导体硅外延片的加工工作,同时对半导体硅外延片的固定方式,采用全新机械自动化,不会对半导体硅外延片的表面造成污染变形或者受力不均的问题,能够保证后续产品质量。
本实用新型一种半导体硅外延片真空夹持装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体硅外延片真空夹持装置,包括安装板1,其特征在于:所述安装板1的外表面安装有夹持加工组件2,所述夹持加工组件2包括滑筒201,所述滑筒201固定连接于安装板1的外表面,所述滑筒201外表面滑动连接有滑杆202,所述滑杆202的左端固定连接有滑板203,所述滑板203的外表面开设有卡槽204,所述卡槽204的内壁安装有橡胶圈205,所述橡胶圈205的外表面与滑筒201的内侧壁滑动连接,所述滑筒201的外表面通过短筒转动连接有吸附盘206。
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