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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利被加工物的加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112530801B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010972662.0，技术领域涉及：H10P50/24；该发明授权被加工物的加工方法是由渡边义雄;高桥宏行;和田健太郎设计研发完成，并于2020-09-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本被加工物的加工方法在说明书摘要公布了：本发明提供被加工物的加工方法，能够抑制装置的大型化，并且被加工物能够将蚀刻中施加的高热排出。被加工物的加工方法从吸引路向保持面作用负压而利用卡盘工作台对被加工物进行吸引保持，使真空腔室内的气压减压至能够实现低压等离子且能够利用卡盘工作台对被加工物进行吸引保持的50Pa以上且5000Pa以下，一边对被加工物进行吸引保持一边向被加工物提供等离子状态的惰性气体，对配置于卡盘工作台的电极施加电压而利用卡盘工作台对被加工物进行静电吸附，提供等离子状态的加工用气体而对被加工物进行干蚀刻。

本发明授权被加工物的加工方法在权利要求书中公布了：1.一种被加工物的加工方法，使用将内部与大气隔开的真空腔室，利用等离子状态的气体对板状的被加工物进行加工，其中， 该被加工物的加工方法包含如下的步骤： 搬入步骤，从该真空腔室的搬入搬出用的门将该被加工物搬入并将该被加工物载置于该真空腔室内的卡盘工作台的保持面上； 真空保持步骤，在实施了该搬入步骤之后，从与该卡盘工作台的该保持面连接的吸引路作用负压而利用该卡盘工作台对该被加工物进行吸引保持； 减压步骤，在实施了该真空保持步骤之后，将该门关闭并将该真空腔室内的气氛气体排气，使该真空腔室内的气压减压至能够利用该卡盘工作台对该被加工物进行吸引保持的50Pa以上且5000Pa以下； 静电吸附步骤，在实施了该减压步骤之后，一边利用该卡盘工作台对该被加工物进行吸引，一边向该被加工物提供等离子状态的惰性气体，对配置于该卡盘工作台的电极施加电压而利用该卡盘工作台对该被加工物进行静电吸附； 加工步骤，在实施了该静电吸附步骤之后，向该卡盘工作台所保持的该被加工物提供等离子状态的加工用气体，对该被加工物进行干蚀刻； 静电吸附停止步骤，在实施了该加工步骤之后，向该被加工物提供等离子状态的惰性气体，并且停止向该卡盘工作台的该电极施加电压； 门打开步骤，向该真空腔室提供惰性气体，在将该真空腔室的内部的气压调整为大气压以上之后将该门打开；以及 被加工物搬出步骤，在实施了该门打开步骤之后，停止从该吸引路作用的负压，使该被加工物从该保持面脱离并从该真空腔室搬出。

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