株式会社斯库林集团高桥朋宏获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理装置及衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114446822B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111269112.3，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理装置及衬底处理方法是由高桥朋宏设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置及衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置100具备：衬底保持部120，保持衬底W；处理槽110，贮存用于浸渍被保持在衬底保持部120的衬底W的处理液L；及多个气泡产生管136，通过对处理液L供给气体而使处理液L中产生气泡。多个气泡产生管136之中，供给到外侧气泡产生管136a、136d的气体的流量多于供给到内侧气泡产生管136b、136c的气体的流量，所述外侧气泡产生管136a、136d位于浸渍在处理液L中的衬底W的外周区域下方，所述内侧气泡产生管136b、136c位于衬底W的中央区域下方。
本发明授权衬底处理装置及衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理装置，具备： 衬底保持部，保持至少1个衬底； 处理槽，贮存用于浸渍被保持在所述衬底保持部的衬底的处理液； 外侧气泡产生管，位于所述衬底的外周区域的下方，通过对所述处理液供给气体而使气泡产生于所述处理液中； 内侧气泡产生管，位于所述衬底的中央区域的下方，通过对所述处理液供给气体而使气泡产生于所述处理液中； 第1气体供给管，将气体供给源与所述外侧气泡产生管予以流路连接； 第2气体供给管，将所述气体供给源与所述内侧气泡产生管予以流路连接； 第1流量控制机构，安装在所述第1气体供给管； 第2流量控制机构，安装在所述第2气体供给管；及 控制部，以供给到所述外侧气泡产生管的气体的流量多于供给到所述内侧气泡产生管的气体的流量，并使得由所述外侧气泡产生管产生于所述处理液中的气泡的量与由所述内侧气泡产生管产生于所述处理液中的气泡的量相等的方式，控制所述第1流量控制机构及所述第2流量控制机构。
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