家登精密工业股份有限公司邱铭乾获国家专利权
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龙图腾网获悉家登精密工业股份有限公司申请的专利光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114995071B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210722275.0,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法是由邱铭乾;庄家和;林书弘;薛新民设计研发完成,并于2019-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法在说明书摘要公布了:一种光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法,该光罩固持系统包括一内盒及一外盒。所述内盒配置来接收具有第一识别特征的一光罩,所述内盒包括:一内基座,具有一光罩容置区,其被一外围区域围绕,所述光罩容置区限定一相应地布置成允许观察所述第一识别特征的第一观察区;及一内盖,配置来与内基座的外围区域接合,从而限定一用于容置所述光罩的内部。所述外盒配置来接收内基座,并包括:一外基座,其上限定一第二观察区域,其中,当所述外基座接收所述内盒时,第二观察区域可观察地与第一观察区域对准;及一外盖,配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒。
本发明授权光罩固持系统及提供光罩固持系统观察光罩的方法在权利要求书中公布了:1.一种光罩固持系统,其特征在于,包括: 一内盒,配置来接收一光罩,所述光罩具有一第一识别特征,所述内盒包括:一内基座,具有一光罩容置区,所述光罩容置区被一外围区域围绕,其中,所述内基座具有限定在所述光罩容置区中的第一观察区,及一内盖,配置来与所述内基座的外围区域接合,从而限定用于容置所述光罩的一内部;以及 一外盒,配置来接收所述内盒,所述外盒包括:一外基座,具有一第二观察区,其中,当所述外基座接收所述内基座时,所述第二观察区可观察的与所述内盒的所述第一观察区对准,及一外盖,配置来与所述外基座接合并覆盖所述内盒; 其中,所述第一观察区配置两个内部光学组件以允许从所述两个内部光学组件的其中一个观察所述第一识别特征,所述第二观察区配置一外部光学组件,并使所述外部光学组件的几何中心投影偏移所述外基座的几何中心以及投影偏移所述内部光学组件的几何中心,而所述内部光学组件投影重叠所述外部光学组件,且所述外部光学组件的平面轮廓包括一个或多个圆弧状部分。
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