中国科学院物理研究所张忠山获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中国科学院物理研究所申请的专利微机电装置及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115010081B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210347840.X，技术领域涉及：B81B7/02；该发明授权微机电装置及其制造方法是由张忠山;李俊杰;李瑶设计研发完成，并于2022-04-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本微机电装置及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及微机电装置及其制造方法。根据一实施例，一种微机电装置包括：绝缘衬底；设置在所述衬底上的支承柱，所述支承柱支承一质量块；在所述衬底上围绕所述质量块设置的一对或多对电极板，每对电极板设置在所述质量块的相对两侧；以及绝缘盖板，其上设置有与所述一对或多对电极板对应的一对或多对电极，所述盖板覆盖在所述一对或多对电极板上时，所述一对或多对电极分别与所述一对或多对电极板电接触。所述微机电装置可用作加速度计或陀螺仪。
本发明授权微机电装置及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种微机电装置，包括： 绝缘衬底101； 设置在所述衬底上的支承柱102，所述支承柱支承一质量块103，所述支承柱能够产生弯曲形变，从而使所述质量块的位置发生偏移； 在所述衬底上围绕所述质量块设置的一对或多对电极板104、105、106、107，每对电极板设置在所述质量块的相对两侧；以及 绝缘盖板121，其上设置有与所述一对或多对电极板对应的一对或多对电极，所述绝缘盖板覆盖在所述一对或多对电极板上时，所述一对或多对电极分别与所述一对或多对电极板电接触。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院物理研究所，其通讯地址为：100190 北京市海淀区中关村南三街8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励