买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海众壹云计算科技有限公司申请的专利一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法及识别装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115272185B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210727667.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法及识别装置是由刘迪;陈建东;沈剑;徐高亮设计研发完成，并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法及识别装置在说明书摘要公布了：本发明涉及一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法及识别装置，该识别方法包括步骤：基于掩膜版制备得到晶圆，并基于晶圆获取到多个待测图像，且至少一个待测图像中包括：至少一个第一目标点；基于多个待测图像得到待分析图像模型，且待分析图像模型包括：由第一目标点对应形成的第二目标点；基于第二目标点获取有效目标点；对待分析图像模型进行网格划分得到若干网格单元；基于网格单元获取有效目标点的网格位置，并基于网格位置对有效目标点进行分类；基于分类后的有效目标点确定目标缺陷。本发明所提供的方法及装置能够高效地识别出掩膜版的各类缺陷。

本发明授权一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法及识别装置在权利要求书中公布了：1.一种单元化的掩膜版缺陷的识别方法，其特征在于，包括步骤： 基于掩膜版制备得到晶圆，并基于所述晶圆获取到多个待测图像01，且至少一个所述待测图像01中包括：至少一个第一目标点011； 基于多个所述待测图像得到待分析图像模型02，且所述待分析图像模型02包括：由所述第一目标点011对应形成的第二目标点021； 基于所述第二目标点021获取有效目标点022； 对所述待分析图像模型02进行网格划分得到若干网格单元； 基于所述网格单元获取所述有效目标点022的网格位置，并基于所述网格位置对所述有效目标点022进行分类； 基于分类后的所述有效目标点022确定目标缺陷05； 其中，确定所述目标缺陷05的步骤包括： 当所述网格位置相同的所述有效目标点的数量大于第二预设值时，将对应的所述网格单元标记为第一计算单元，并将所述第一计算单元内的所述有效目标点标记为第一目标缺陷点； 将与所述第一计算单元相邻的至少一个所述网格单元标记为第二计算单元； 基于所述第一目标缺陷点与第二计算单元内的各个所述有效目标点之间的距离确定第二目标缺陷点，并基于第一、二目标缺陷点确定所述目标缺陷； 其中，基于所述第二目标点021获取有效目标点022的步骤包括： 获取所述第二目标点021的发生频次，其中，所述发生频次为第二目标点021所对应的所述第一目标点011的数量； 当所述第二目标点021的发生频次大于第一预设值时，将相应的所述第二目标点021标记为有效目标点022。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海众壹云计算科技有限公司，其通讯地址为：200333 上海市静安区江场三路238号1217室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。