江苏鲁汶仪器股份有限公司张彪获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏鲁汶仪器股份有限公司申请的专利一种刻蚀腔体、刻蚀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223871444U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423315856.6，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀腔体、刻蚀设备是由张彪;国星;尹格华;刘海洋;叶鹏;鞠小晶;胡冬冬;许开东设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀腔体、刻蚀设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀腔体、刻蚀设备，刻蚀腔体包括形成腔室的壁体和位于腔室的内衬，还包括内嵌于壁体内的多个加热器和多个冷却管路，加热器沿腔室的水平周向分布，加热器的下端位于壁体对应腔室底部的位置，加热器的上端位于高于内衬的最低端的位置；冷却管路沿竖向分布，至少两个冷却管路分别位于高于内衬的最低端的位置和低于内衬的最低端的位置，冷却管路沿腔室的水平周向环绕腔室。本实用新型的刻蚀腔体能够更有效地控制腔室与内衬的温度。
本实用新型一种刻蚀腔体、刻蚀设备在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀腔体，包括形成腔室的壁体200和位于所述腔室的内衬300，其特征在于，还包括： 多个加热器401~404，内嵌于所述壁体200内，所述多个加热器401~404沿所述腔室的水平周向分布，所述加热器的下端位于所述壁体200对应所述腔室底部的位置，所述加热器的上端位于高于所述内衬300的最低端的位置； 多个冷却管路510、520，内嵌于所述壁体200内，所述多个冷却管路510、520沿竖向分布，至少两个所述冷却管路分别位于高于所述内衬300的最低端的位置和低于所述内衬300的最低端的位置，所述冷却管路沿所述腔室的水平周向环绕所述腔室。
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