上海诺银机电科技有限公司高志远获国家专利权
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龙图腾网获悉上海诺银机电科技有限公司申请的专利一种子母环和frame晶圆传片机获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223872724U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423051371.0,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种子母环和frame晶圆传片机是由高志远设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种子母环和frame晶圆传片机在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种子母环和frame晶圆传片机,用于晶圆传输设备,包括机器人侧框架和平台侧框架,所述机器人侧框架上安装有晶圆机器人,所述晶圆机器人的边侧安装有料盒定位装置,所述料盒定位装置的边侧安装有晶圆对中机构,本申请通过三组料盒定位装置来装载子母环晶圆和frame晶圆,以及晶圆机器人来实现各个位置晶圆的加工检测以及内部传输,晶圆对中机构具有实现子母环晶圆寻边定位和扫码识别的功能,并且能够实现frame晶圆的扫码识别功能。
本实用新型一种子母环和frame晶圆传片机在权利要求书中公布了:1.一种子母环和frame晶圆传片机,用于晶圆传输设备,包括机器人侧框架1和平台侧框架2,其特征在于:所述机器人侧框架1上安装有晶圆机器人3,所述晶圆机器人3的边侧安装有料盒定位装置4,所述料盒定位装置4的边侧安装有晶圆对中机构5,所述机器人侧框架1的内部安装有工控机7,所述平台侧框架2的边侧安装有UPS供电组件9,所述平台侧框架2的顶部安装有运动平台模组6,所述UPS供电组件9的边侧安装有外部对接接口组件8。
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