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柯尔微电子装备(厦门)有限公司赵明明获国家专利权

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龙图腾网获悉柯尔微电子装备(厦门)有限公司申请的专利一种晶圆校平机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223872736U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520301293.0,技术领域涉及:H10P72/50;该实用新型一种晶圆校平机构是由赵明明;郑隆结;孙会民设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆校平机构在说明书摘要公布了:本申请提出了一种晶圆校平机构,包括:至少一个夹持组件、V型导向轮、减速机和电机;电机通过减速机带动V型导向轮转动;夹持组件与V型导向轮设置于晶圆校平机构同一法向平面。电机通过减速机带动V型导向轮转动。减速机的作用是降低电机的转速,增加扭矩,使V型导向轮能够稳定、可靠地转动。V型导向轮为晶圆的校平提供导向作用,确保晶圆在正确的路径上进行校平操作。

本实用新型一种晶圆校平机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆校平机构,其特征在于,包括: 至少一个夹持组件、V型导向轮、减速机和电机;所述电机通过所述减速机带动所述V型导向轮转动;所述夹持组件与所述V型导向轮设置于所述晶圆校平机构同一法向平面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人柯尔微电子装备(厦门)有限公司,其通讯地址为:361000 福建省厦门市翔安区厦门火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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