西湖仪器(杭州)技术有限公司朱佳凯获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖仪器(杭州)技术有限公司申请的专利一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223872748U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520852168.9，技术领域涉及：H10P74/00；该实用新型一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置是由朱佳凯;刘东立;俞小英设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置。该剥离装置包括：底座、输送组件和剥离组件；输送组件包括传输件和两条平行设置的导轨；两条导轨设置在底座上，沿前后方向延伸；传输件滑动设置于导轨上，顶面设有用于承载晶锭的底托；剥离组件包括升降组件、支撑件、夹具和分设于输送组件左右两侧的对射式光学传感器；升降组件至少部分设置在底座上；支撑件至少部分设置在升降组件上，可沿升降组件的上下方向运动；夹具至少部分设置在支撑件底面；对射式光学传感器至少部分设置在升降组件的底部。通过上述设置，剥离装置在剥离晶圆时，能够检测晶锭是否随晶锭一同被夹具夹起而脱离托盘，以便工作人员及时对异常状况进行处理，避免对后续工序造成影响。
本实用新型一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置在权利要求书中公布了：1.一种检测晶圆剥离状况的晶圆剥离装置，用于从晶锭上剥离晶圆，其特征在于，包括： 底座11； 输送组件12，所述输送组件12包括传输件121和两条平行设置的导轨122；两条所述导轨122设置在所述底座11上，沿前后方向延伸；所述传输件121滑动设置于所述导轨122上，顶面设有用于承载晶锭的底托123； 剥离组件13，所述剥离组件13包括升降组件131、支撑件132、夹具133和分设于所述输送组件12左右两侧的对射式光学传感器134；所述升降组件131至少部分设置在所述底座11上；所述支撑件132至少部分设置在所述升降组件131上，可沿所述升降组件131的上下方向运动；所述夹具133至少部分设置在所述支撑件132底面；所述对射式光学传感器134至少部分设置在所述升降组件131的底部。
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