应用材料公司罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利呈角度的光栅的形成获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113039627B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980073367.7，技术领域涉及：H10P30/00；该发明授权呈角度的光栅的形成是由罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;约瑟夫·C·奥尔森;摩根·埃文斯设计研发完成，并于2019-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本呈角度的光栅的形成在说明书摘要公布了：本文论述的系统和方法能够用于在单一基板上遍及光栅材料上形成处于各种倾斜角的光栅，这是通过下述方式实现的：确定离子束角度，以及将离子束的角度在多个离子束角度之间改变，从而形成具有变化的角度和截面几何形状的多个光栅。所述基板能够绕着中心轴旋转，并且能够调控一个或多个工艺参数诸如离子束的占空比，从而形成具深度梯度的光栅。
本发明授权呈角度的光栅的形成在权利要求书中公布了：1.一种形成光栅的方法，包括： 蚀刻硬掩模层以形成多个开口，所述硬掩模层设置在光栅材料层之上，所述光栅材料层设置在基板上； 通过所述硬掩模层的所述多个开口在所述光栅材料层中形成第一光栅，其中所述第一光栅具有第一形状向量和第一光栅向量，其中所述第一形状向量是其中所述第一光栅的深度梯度改变的方向，并且其中形成所述第一光栅包括： 确定第一离子束角所述第一离子束角与第一倾斜角和所述第一形状向量与所述第一光栅向量之间的角度相关，其中所述第一离子束角是根据方程式确定的； 将所述光栅材料层的第一部分定位在离子束的路径中，所述离子束相对于所述基板呈所述第一离子束角所述基板保持在工作台上；和 当所述离子束处于所述第一离子束角时，调控工艺参数，以形成所述第一光栅的第一多个鳍片，所述第一多个鳍片具有所述第一形状向量、所述第一光栅向量、和相对于所述基板的表面法线的所述第一倾斜角从而使所述第一多个鳍片以所述第一倾斜角形成。
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